日，科技部高技術研究發(fā)展中心公布了2021年度“變革性技術關鍵科學問題”重點專項立項項目，我校微電子學院黃文教授負責的“基礎三維無源元件的單片高集成度自卷曲技術”項目獲批立項（2021YFA0715300），項目總經費1876萬元。該項目由合肥工業(yè)大學牽頭，項目參加單位有復旦大學、上海交通大學、電子科技大學、深圳大學和中國科學院空天信息創(chuàng)新研究院。我校微電子學院桑磊副教授為該項目合肥工業(yè)大學課題負責人。

“變革性技術關鍵科學問題”重點專項屬于戰(zhàn)略性前瞻性重大科學問題領域。專項以國家重大戰(zhàn)略需求為牽引，以解決重大共性科學問題為導向，圍繞可能產生變革性技術的前沿交叉基礎研究進行戰(zhàn)略部署，服務于國家創(chuàng)新驅動發(fā)展戰(zhàn)略。

該項目圍繞如何突破單片高電磁能量密度基礎無源元件的制備理論和技術這一重大科學問題，提出了兼容常規(guī)半導體面工藝的氮化硅薄膜自卷曲技術。預期成果可實現(xiàn)三維結構的單片基礎無源元件，突破當前基礎無源元件小型化技術瓶頸，變革其研制方法。這對防范化解在先進高集成度基礎無源電子元件研制領域可能出現(xiàn)的“卡脖子”問題具有重要意義。

黃文教授是我校微電子學院納米微波與納米功率技術實驗室負責人，2017年博士畢業(yè)于美國伊利諾伊大學香檳分校（University of Illinois at Urbana-Champaign）電氣與計算機工程專業(yè)。博士畢業(yè)后在美國伊利諾伊大學香檳分校微納米技術實驗室擔任博士后研究員。2018年受聘為合肥工業(yè)大學“黃山學者”特聘教授、博士生導師。此次“基礎三維無源元件的單片高集成度自卷曲技術”重點專項立項，有助于我校加快建設為國家集成電路創(chuàng)新驅動發(fā)展服務的重要載體。